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基于柔性衬底的P型微晶硅薄膜生长工艺的研究

隋妍萍  张德贤  席强  陶科  薛颖  蔡宏琨  姜元建  王林申  赵敬芳  
【摘要】:硅基薄膜太阳电池采用聚酰亚胺薄膜为柔性衬底,由于具备低成本、高比功率的显著特点已成为目前太阳电池研究的重点。本论文所制备的柔性衬底倒结构非晶硅薄膜太阳电池是以P型微晶硅材料作为窗口层,所制备的太阳电池既可以拥有非晶硅本征层高吸收系数的特点,同时,微晶化的窗口层材料又具备良好的光电特性,并且以柔性材料作为衬底使得电池的应用领域得到了充分的扩展。本文工作采用RF-PECVD技术生长P型微晶硅材料,分析了P型微晶硅材料的沉积生长参数对其性能的影响,并研究了分层生长方法以及底层硅基薄膜材料对P型微晶硅材料的影响。将P型微晶硅薄膜材料应用于聚酰亚胺衬底薄膜太阳电池,得到了转换效率超过5%的柔性衬底倒结构非晶硅薄膜太阳电池。

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