收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

非晶硅薄膜及太阳电池的高速制备

章曙东  王永谦  张光春  施正荣  
【摘要】:在当前晶硅材料严重短缺、晶体硅太阳电池制造成本居高不下的背景下,硅薄膜电池技术得到了前所未有的重视和发展。在工业化生产过程中,实现高效稳定非晶硅薄膜的高速制备是降低电池制造成本的有效途径之一。本文介绍了在RF-PECVD系统上通过优化工艺条件制备出沉积速率在3(?)/S以上的器件质量级a-Si:H薄膜材料,并在此基础上制备了面积为10~*10cm~2的集成串联型非晶硅薄膜太阳电池,其初始转换效率接近9%,稳定效率在6.5%以上,有望应用于硅薄膜电池的规模生产。

知网文化
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 章曙东;王永谦;张光春;施正荣;;非晶硅薄膜及太阳电池的高速制备[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
2 王敏花;任丙彦;刘晓平;李彦林;羊建坤;许颖;李海玲;王文静;;射频PECVD沉积优质氢化非晶硅薄膜[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
3 隋妍萍;张德贤;席强;陶科;薛颖;蔡宏琨;姜元建;王林申;赵敬芳;;基于柔性衬底的P型微晶硅薄膜生长工艺的研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
4 王娟;张溪文;韩高荣;;铝基表面等离子增强化学气相法沉积类金刚石薄膜研究[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
5 周美丽;胡立琼;张跃飞;陈强;葛袁静;;掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
6 周美丽;胡立琼;张跃飞;陈强;葛袁静;;掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
7 孙振中;刘丰珍;周玉琴;朱美芳;;以P_w/p_g为组合变量的微晶硅薄膜的沉积相图[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
8 胡文娟;谢芬艳;付亚波;陈强;翁静;;RF-PECVD聚合类聚乙烯氧(PEO-like)薄膜的蛋白质吸附性研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李明;利用rf-PECVD方法在不同基底上制备DLC膜的实验研究[D];东北大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 李玮玮;RF-PECVD法制备碳纳米管的工艺研究[D];天津理工大学;2010年
2 张洪;硅锗薄膜材料的RF-PECVD法制备及其在太阳电池中的应用[D];河北工业大学;2010年
3 蔡言凯;泵体柱塞表面涂层技术研究[D];长春理工大学;2009年
4 王生钊;低温工艺PECVD法制备多晶硅薄膜研究[D];郑州大学;2006年
5 刘丽娟;过渡区材料及在PIN太阳能电池中的应用研究[D];暨南大学;2008年
6 陈萌炯;RF-PECVD和DBD-PECVD制备a-Si:H薄膜的性能研究及其比较[D];浙江大学;2006年
7 冯仁华;PECVD法制备本征/掺硼纳米非晶硅薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2007年
8 汪昌州;p型μc-Si:H薄膜微结构和光电性能的研究[D];郑州大学;2007年
9 何子博;PC树脂镜片沉积DLC薄膜耐磨性及附着性的研究[D];四川大学;2006年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978