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《第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代》2008年
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论切水剂在硅片清洗中应用

韩红江  陈月琴  张华  
【摘要】:研究切水剂的切水、脱水特性,将切水剂运用到硅片清洗工序中,以达到优化清洗工艺、简化清洗设备、缩短硅片清洗时间的目的。结果表明,使用切水剂可以达到预期效果,而且对提高硅片清洁度有好处。
【作者单位】:硅片制造部,常州天合光能有限公司
【分类号】:TN304.12

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【参考文献】
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