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《第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代》2008年
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管式扩散中POCl_3使用量的测量及对扩散工艺的影响

陈琼  蔡希松  李钟华  刘秀兰  潘盛  刘志刚  孙铁囤  
【摘要】:本文研究了同一瓶三氯氧磷扩散源使用过程中,随工艺次数增加,氮气量保持恒定的情况下,磷源的携带量逐渐减少。硅片的方块电阻逐渐增加,方块电阻和电池片效率的离散度逐渐增加。通过对同一瓶三氯氧磷使用过程中逐渐增大氮气流量,方块电阻趋于稳定,方块电阻和电池片效率的离散度减小。
【作者单位】:常州亿晶光电科技有限公司
【分类号】:TM914.41

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