C/C复合材料坩埚在直拉单晶炉中的应用研究
【摘要】：本文详细介绍了坩埚在直拉单晶硅热场系统中的作用,对比了石墨坩埚和炭/炭复合材料坩埚的生产过程与性能差异,综述分析了炭/炭复合材料坩埚的市场前景。通过使用情况得出,炭/炭复合材料坩埚完全可以应用于直拉单晶硅领域,其性能远优于石墨坩埚,并分析了炭/炭复合材料坩埚的破坏机理,提出了解决措施。通过对整个行业的分析,炭/炭复合材料坩埚将取代石墨坩埚成为未来直拉硅单晶的热场首选材料。
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