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《中国通信学会第五届学术年会论文集》 2008年
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超深亚微米级硅基螺旋电感器等效电路模型研究

杨红  庞宏  文光俊  
【摘要】:本文根据超深亚微米级硅基螺旋电感器的物理特性,利用全电磁波仿真程序模拟出硅基螺旋电感器的射频特性参量,在此基础上提出了一种高精度的硅基螺旋电感器等效电路模型,将射频特性拟合到等效电路中抽取出其元件参数值。在硅基螺旋电感器的自谐振频率以下,其全电磁波仿真的射频特性与等效电路模型的仿真值之误差均小于3%,二者具有很好的吻合度。

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