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《全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议论文集》2005年
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扭臂式静电微驱动器的pull-in现象分析

孙东明  董玮  刘彩霞  王国东  陈维友  
【摘要】:本文从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下 pull-in现象的产生条件并给出公式化结果,讨论了器件的几何结构参数对于pull-in 现象的影响,并对具体结构的器件给出了pull-in角度和pull-in电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pull-in角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。

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