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光纤连接器面形参数的光学精密测量

钱锋  王向朝  王学锋  步扬  
【摘要】:光纤连接器是光纤通信、光纤传感器以及其它光纤应用领域中不可缺少的、应用最广的基础元件之一.光纤连接器的高技术性能,多规格品种化以及大规模产业化对光纤连接器面形参数的检测提出了很高的要求.在本文中,我们介绍两种测量光纤连接器面形参数的光学无接触测量方法,测量精度都能达到纳米量级.一种方法是使用单色光源的移相干涉测量技术.这种方法不仅需要复杂的相位解调过程,而且只能测量光滑物体的表面.另一种方法是使用宽带光源的白光扫描干涉术.它利用白光光源相干长度短的特点,连续改变光程差以获得各点在不同位置的干涉图.通过傅立叶变换,即可求出各点的相位信息.这种技术可以测量粗糙物体的表面.利用这两种技术,我们可以测得光纤连接器的表面形状和粗糙度,并因此求出光纤纤芯的偏心度,连接器端面曲率,中心高度等重要参数.

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