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《2009年西安-上海声学学术会议论文集》2009年
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材料微米和纳米尺度的无损评估

钱梦騄  赵亚军  程茜  
【摘要】:正1.引言随着现代材料科学,纳米技术,微电子技术,MEMS和NEMS技术的迅速发展,以及新型研发和应用的不断深入,迫切需要进一步了解材料的微区(微米-纳米尺度上)的结构和性能,微区再结晶、Kirkendall空穴等新的缺陷和损伤的形成机

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