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《2009’中国西部地区声学学术交流会论文集》2009年
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支持层结构对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响

汤亮  郝震宏  乔东海  
【摘要】:首先推导出了加入材料介质声损耗的一维Mason模型,并利用该模型分析了支持层结构对FBAR器件谐振特性的影响,包括不同支持层材料及厚度对FBAR器件性能的影响。相对于二氧化硅薄膜而言,氮化硅薄膜更适合于作为FBAR器件的支持层;而随着氮化硅薄膜厚度的增加,FBAR器件的频率下降而Q值和Qf乘积变大,且二次谐波得到加强。
【作者单位】:中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室
【基金】:国家自然科学基金(90607012)
【分类号】:TN751.2

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