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《中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集(上)》2008年
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氧化锌纳米薄膜气敏性质的研究

周康夫  陆慧  杨晓玲  朱以华  
【摘要】:用气体放电活化反应蒸气沉积技术(GDARE)制备了纳米ZnO薄膜,并用XRD与AFM分析其晶体结构并表征其表面形貌.测试了其在不同温度下对于酒精的气敏性能,发现该ZnO纳米薄膜的最佳工作温度为210℃左右.

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