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Co-Ti-O奈米颗粒合金薄膜的磁阻特性

方昭训  郑文凯  赖思宇  陈锦山  
【摘要】:本研究利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-D颗粒合金单层薄膜,并藉由适当之热处理,使薄膜为Co及TiOx之混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10 min可得磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000℃热处理10 min可得磁阻率高达4%.

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