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《中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议论文集(下册)》2005年
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敏感层100μm硅探测器的研制

田大宇  宁宝俊  马连荣  孟宪馨  邓珂  王玮  罗葵  张录  陈鸿飞  邹积清  施伟红  邹鸿  
【摘要】:简单介绍了微机械工艺硅薄层探测器的制备过程,对Φ12mm、敏感层100μm的硅PTN探测器进行了测试,包括PIN结全耗尽电压、噪声、能量分辩,漏电流等,并与ORTEC公司同类产品进行了比较,证明该探测器接近或达到国外同类产品的水平。

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