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《全国自动化新技术学术交流会会议论文集(一)》2005年
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差动式平面精密定位技术研究

张迎新  刘京南  陈从颜  
【摘要】:文中介绍了基于差动光栅结构的精密直线定位原理和平面精密角度定位原理,分析了两光栅倾斜角对直线定位准确性的影响,分析了两光栅间隙对整个平面定位精度的影响,指出了在X-Y-θ平面定位系统中精密角度定位是关键,最后给出了实验系统的设计和X-Y-θ平面精密定位的实验结果。

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