基于传统丝印技术快速制备低成本微流控芯片方法的研究
【摘要】:正近年来,各种快速制备微流控芯片的方法屡见报道。与传统的微加工技术相比,这些方法大大降低了制作成本,但是微通道的高度、精细度和高宽比均受到各方面的限制。在这项研究中,我们
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周再发;黄庆安;李伟华;王涓;孙岳明;;元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀研究[J];固体电子学研究与进展;2006年01期 |
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徐德好;;微通道液冷冷板设计与优化[J];电子机械工程;2006年02期 |
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孙晓峰;丁桂甫;顾东华;黎滨洪;沈民谊;;一种新型叉指式共面波导的设计与制作[J];微波学报;2007年04期 |
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宋登元;半导体工艺中的激光化学微加工技术[J];半导体技术;1984年05期 |
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David A.Johson
,冰;用35mm胶片制做低成本红外滤波器[J];电子产品世界;1997年01期 |
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何文波,闫卫平,郭吉洪;PCR生物芯片微加工技术的研究[J];仪表技术与传感器;2003年01期 |
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胡芃;;ASYST-SMIFTM:满足低成本高效率的晶片生产需求[J];中国集成电路;2004年05期 |
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;Xilinx Spartan系列销售额超过7.5亿美元[J];集成电路应用;2004年07期 |
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李艳宁,唐洁,胡小唐,张国雄;脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用[J];压电与声光;2005年02期 |
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;科利登在IC China 2005展出Sapphire D-10[J];集成电路应用;2005年10期 |
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Andy Zocher;;高效率、低成本ISM频段发送器中的功放[J];今日电子;2006年06期 |
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曹宇;李祥友;蔡志祥;曾晓雁;;激光微加工技术在集成电路制造中的应用[J];光学与光电技术;2006年04期 |
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赵佳;曾晓洋;韩军;陈俊;;简化的抗零值功耗分析的AES算法及其VLSI实现[J];计算机工程;2007年16期 |
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李小明;庄奕琪;张丽;辛维平;;用于PDP扫描驱动芯片的低成本VDMOS及其兼容工艺(英文)[J];半导体学报;2007年11期 |
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黄佑香;张庆茂;廖健宏;周永恒;;飞秒激光微加工技术的评述与展望[J];金属热处理;2008年06期 |
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程颖;王江;尹延昭;刘亚娟;;平膜式流量芯片的研制[J];计量与测试技术;2009年11期 |
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高国龙;;法国研发采用低成本130nm CMOS晶体管的太赫兹成像技术[J];红外;2011年03期 |
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林钧跃;;IBM公司的激光微加工技术[J];激光与红外;1985年05期 |
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王晓华,张宝顺,王玉霞,任大翠,张兴德;微通道热沉标准单元制作的SEM观察[J];电子显微学报;2000年04期 |
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冯进军;蔡军;胡银富;瞿波;李含雁;唐烨;;折叠波导慢波结构太赫兹真空器件研究[J];中国电子科学研究院学报;2009年03期 |
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