1 |
周平和,刘世杰,郭颖,潘峰,卢进军;湿法刻蚀熔石英斜坡陡度的研究[J];汉中师范学院学报;2004年03期 |
2 |
黄生荣,陈朝;GaN材料湿法刻蚀的研究与进展[J];微纳电子技术;2005年06期 |
3 |
李建军;林祖伦;时晴暄;陈泽祥;;硅场发射微尖阵列的制备工艺研究[J];现代显示;2006年10期 |
4 |
杨才表;陈强;邵建波;吴蕾;赵建龙;;基于玻璃基底的细胞培养芯片研究[J];生物技术通讯;2008年01期 |
5 |
梁秀萍;冯秋菊;张贺秋;田怡春;张红治;孙晓娟;胡礼中;;液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究[J];光电子.激光;2008年11期 |
6 |
王维彪,金长春,赵海峰,王永珍,殷秀华,范希武,梁静秋,姚劲松;干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较[J];发光学报;1998年03期 |
7 |
谢海波;傅新;杨华勇;;非超净条件下玻璃微流控芯片加工工艺[J];浙江大学学报(工学版);2007年04期 |
8 |
魏星;乔忠良;薄报学;陈静;张苗;王曦;;脉冲阳极氧化工艺制作GaAs/AlGaAs宽条形半导体激光器[J];功能材料与器件学报;2008年05期 |
9 |
张明明;贾泽;尹聪;王林凯;任天令;;集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响(英文)[J];纳米技术与精密工程;2011年04期 |
10 |
李立杰;隧道微硅尖的制作技术[J];半导体情报;1999年03期 |
11 |
赵智彪,李伟,祝向荣,齐鸣,李爱珍;氮化镓光辅助湿法刻蚀后的位错密度估算[J];固体电子学研究与进展;2002年02期 |
12 |
林国树;李晓莹;乔大勇;苑伟政;;基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真[J];航空制造技术;2006年08期 |
13 |
闻伟;杨传仁;张继华;陈宏伟;梁鸿秋;张瑞婷;;ITO/PLZT薄膜湿法刻蚀研究[J];压电与声光;2008年06期 |
14 |
罗跃川;韩尚君;王雪敏;吴卫东;唐永建;;GaAs/AlGaAs多层膜刻蚀的陡直度[J];信息与电子工程;2011年03期 |
15 |
孙晓娟;胡礼中;田怡春;张籍权;张红治;梁秀萍;潘石;;GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移[J];人工晶体学报;2007年01期 |
16 |
张凯;顾豪爽;胡光;叶芸;吴雯;刘婵;;MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究[J];湖北大学学报(自然科学版);2007年03期 |
17 |
杜立群;李璞;刘军山;;基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片湿法刻蚀模拟研究[J];计算机学报;2008年05期 |
18 |
樊晶美;王良臣;刘志强;;表面粗化对GaN基垂直结构LED出光效率的影响[J];光电子.激光;2009年08期 |
19 |
黄腾超,沈亦兵,陈海星,娄迪,侯西云;应用于MOEMS器件的K9玻璃湿法刻蚀工艺的研究[J];光学仪器;2004年02期 |
20 |
孙洋,钱可元,韩彦军,蔡鹏飞,罗毅,雷建都,童爱军;硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用[J];半导体光电;2004年06期 |