电子束蒸发立方氮化硼薄膜的光学性质

【摘要】：用电子束蒸发法制备了c-BN薄膜。衬底采用单面抛光n型Si(100),在背底真空为1.3×10~(-3) Pa,电子枪束流为80 mA,衬底温度为室温的条件下蒸发镀膜40 min,再将BN薄膜样品在氮气保护下900℃退火1 h。所得BN薄膜含量用傅里叶变换红外光谱(FTIR)进行表征,c-BN薄膜中立方相含量约为90%。使用紫外-可见光谱仪采集薄膜样品的反射光谱R(λ),根据反射光谱R(λ)利用Kramers-Kronig变换关系,得到样品的折射率n和吸收系数α。

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前20条

1	杨陈;樊慧庆;李创;陈晋;;离子束辅助反应电子束蒸发TiO_2薄膜的结构和光学性能[J];材料科学与工程学报;2007年01期
2	杨陈;樊慧庆;惠迎雪;;沉积温度对反应电子束蒸发TiO_2薄膜结构和光学性能的影响[J];红外与激光工程;2006年S2期
3	邵淑英,范正修,邵建达,沈卫星,江敏华;氧分压对电子束蒸发SiO_2薄膜机械性质和光学性质的影响[J];光子学报;2005年05期
4	黄蕙芬;陈国平;;电子束蒸发Ta_2O_5薄膜的实验研究[J];真空电子技术;1991年03期
5	梁力恒;;用电子束蒸发和射频磁溅射制备ZnS:Tb,F电致发光薄膜的差别[J];液晶与显示;1988年04期
6	王昌铧,姚宗熙;ACPDP介质膜的实验研究[J];液晶与显示;1999年03期
7	王学华,薛亦渝,赵利,张幼陵;电子束蒸发沉积TiO_2薄膜结构及光学性能的研究[J];武汉理工大学学报;2002年11期
8	汤庆鑫,路丽霞,齐秀英,钟殿强,初国强,刘益春;氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜[J];发光学报;2003年03期
9	阎志军,王印月,徐闰,蒋最敏;电子束蒸发制备HfO_2高k薄膜的结构特性[J];物理学报;2004年08期
10	陈焘;罗崇泰;王多书;金扬利;;电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力测量[J];真空科学与技术学报;2007年02期
11	王玉新;郑亚茹;冯克成;;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[J];辽宁师范大学学报(自然科学版);2007年03期
12	黄红梁;程树英;黄碧华;;基片温度对电子束蒸发的ZnS薄膜性能的影响[J];光电子.激光;2009年03期
13	王健;白亦真;张东;潘丽;柳浩;管昌雨;吴占玲;赵纪军;;用不同靶材制备B-C-N薄膜及其红外表征[J];吉林大学学报(理学版);2010年06期
14	周棠,胡伯清,杨华光,朱镛,张道范,陈应平;钛酸钡晶体的光学性质[J];人工晶体学报;1991年Z1期
15	尚光强;占美琼;贺洪波;张伟丽;邵建达;范正修;;1053,527,351nm倍频分离膜的制备与性能研究[J];强激光与粒子束;2006年04期
16	吴平;李希;高艳清;邱宏;王凤平;潘礼庆;田跃;;工艺参量对Ni_(80)Fe_(20)薄膜结构与磁电阻特性的影响[J];物理实验;2006年06期
17	刘波;;具有长程关联性的二维金属-绝缘体复合材料光学性质的数值研究(英文)[J];苏州大学学报(自然科学版);2006年03期
18	施凌云;王林军;蒋丽雯;刘健敏;夏义本;;低粗糙度金刚石薄膜的制备及其光学性能的表征[J];上海大学学报(自然科学版);2007年03期
19	于天池;王佳菱;;胆甾相液晶光学性质的研究[J];哈尔滨商业大学学报(自然科学版);2007年04期
20	张晓松;董孝义;李岚;张艳芳;李江勇;董冬青;;YAGG:Tb,Gd荧光薄膜及其发光性能的研究[J];光电子.激光;2008年05期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	汪旭洋;邓金祥;张晓康;姚倩;王玲;;电子束蒸发立方氮化硼薄膜的光学性质[A];第十五届全国分子光谱学术报告会论文集[C];2008年
2	杨陈;樊慧庆;惠迎雪;;沉积温度对反应电子束蒸发TiO_2薄膜结构和光学性能的影响[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集（B 光学系统设计与制造技术专题）[C];2006年
3	姚倩;邓金祥;张晓康;汪旭洋;杨萍;陈光华;;射频溅射立方氮化硼薄膜的光谱研究[A];第十五届全国分子光谱学术报告会论文集[C];2008年
4	李金华;王晓华;张吉英;赵东旭;吕有明;申德振;范希武;;Mn对ZnO纳米球光学性质的影响[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
5	朱世富;杜文娟;赵北君;何知宇;李佳伟;张顺如;张熠;;CdGeAs_2晶体的光学性质研究[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
6	付作岭;周誓红;张思远;;纳米Y_2O_3:Eu~(3+)中电荷迁移带的光学性质[A];第五届全国稀土发光材料学术研讨会论文摘要集[C];2005年
7	张晓康;邓金祥;姚倩;汪旭洋;陈光华;贺德衍;;氮化硼薄膜退火诱导相变的红外光谱研究[A];第十五届全国分子光谱学术报告会论文集[C];2008年
8	李振钢;熊光楠;;嵌于有机介质中的ZnS：Mn纳米晶的光学性质[A];第三届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];1997年
9	张继森;王海宇;鄂书林;秦伟平;黄世华;;纳米ZnO微晶的晶格畸变和光学性质[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
10	姜俊全;郭冰青;章永凡;李奕;;CdAX_2(A=Si,Ge,Sn;X=P,As)晶体光学性质的理论研究[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	李金华;Mn掺杂ZnO纳米晶的光学和磁学性质研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2006年
2	陈恒智;稀土掺杂Bi_3TiNbO_9铁电氧化物的光学性质研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
3	闫珂柱;玻色—爱因斯坦凝聚体形成的动力学和光学性质研究[D];上海大学;2000年
4	吕毅军;三元Ga_xIn_（1-x）P和四元（Al_xGa_（1-x））_（0.51）In_（0.49）合金光学性质的研究[D];厦门大学;2000年
5	邓金祥;立方氮化硼薄膜的射频溅射制备和掺杂研究[D];北京工业大学;2001年
6	邹炳锁;纳米微粒的生成、结构特征和相关的基本光学性质[D];南开大学;1993年
7	谭春华;InP-SiO_2三维光子晶体的MOCVD法制备和表征[D];华南师范大学;2005年
8	朱红妹;电子束蒸发原位退火生长MgB_2超导薄膜及其物性研究[D];上海大学;2007年
9	任策;立方氮化硼晶体电流—电压特性及变色现象的研究[D];吉林大学;2009年
10	须萍;金属/电介质颗粒复合体系的光学性质[D];苏州大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	郭清秀;磁控溅射法制备立方氮化硼薄膜及原位掺硫研究[D];北京工业大学;2011年
2	丁旭丽;类金刚石薄膜的制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2009年
3	赵涛;PLD制备掺铜ZnO薄膜结构与光学性质研究[D];曲阜师范大学;2011年
4	孙立涛;ZnO稀磁半导体的制备及表征[D];长春理工大学;2009年
5	谭世勇;铀和二氧化铀光学性质第一性原理计算[D];中国工程物理研究院;2009年
6	陈秋云;二氧化铀光学性质的实验和理论研究[D];中国工程物理研究院;2010年
7	金姗;三元陶瓷电子结构和光学性质的第一性原理研究[D];哈尔滨理工大学;2011年
8	周蓉蓉;纳米ZnO掺杂及复合薄膜的制备与光学特性的研究[D];南京理工大学;2008年
9	孙可为;纳米金属薄膜的光学性质[D];兰州大学;2006年
10	罗雁丽;SrPtAs及不同构型SrPt_2As_2的电子结构及光学性质的第一性原理研究[D];浙江大学;2012年

中国重要报纸全文数据库

前2条

1	记者杜华斌;新型高效微型光谐振器研发成功[N];科技日报;2010年
2	记者常丽君;新材料让多波段光速减慢[N];科技日报;2011年

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