一种无阀压电微泵的研究

【摘要】：介绍了一种用于微流体系统的无阀微泵的制作工艺。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS) 作为弹性泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成泵体,利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,物理化学性质稳定,具有广阔的应用前景。

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前1条

1	廖彦剑;陈礼;杨国清;刘畅;;利用层流分布测量微流控芯片压力的方法研究[J];传感器与微系统;2011年08期

中国博士学位论文全文数据库

前2条

1	白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年
2	许宝建;生物微喷阵列系统的设计、制作与应用研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年

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前4条

1	吕岩;基于PZT压电薄膜的微驱动器研究[D];大连理工大学;2006年
2	李鑫;基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究[D];大连理工大学;2009年
3	田伟强;双联腔三振子无阀压电微泵的研究与设计[D];燕山大学;2010年
4	陈荣;静电柔性振膜型微泵的理论分析和相关键合工艺研究[D];上海交通大学;2008年

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前10条

1	关艳霞;刘斌;徐章润;;PDMS气动微型蠕动泵的有限元分析[J];仪表技术与传感器;2007年04期
2	王飞,王健,何枫;无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量[J];实验流体力学;2005年03期
3	于翮;俞坚;马重芳;;电液动力微泵的改进[J];工程热物理学报;2011年07期
4	赵新,卢桂,章陆斌,李明;虚拟环境中微泵变形规律及算法研究[J];功能材料与器件学报;1998年02期
5	陈令新,关亚风;微流量输液泵[J];分析化学;2003年06期
6	王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
7	徐东,蔡炳初,王莉,丁桂甫,周勇,俞爱斌;形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵[J];微细加工技术;2000年04期
8	黄凯;微泵概念设计的FBS模型[J];机械工程师;2002年06期
9	罗玉元,张国贤;微泵驱动方式比较研究[J];液压与气动;2003年07期
10	程光明,李鹏,杨志刚,鄂世举,刘建芳;压电驱动式双喷嘴挡板电液伺服阀[J];光学精密工程;2005年03期

中国重要会议论文全文数据库

前9条

1	王海宁;崔大付;耿兆新;刘长春;陈兴;;一种无阀压电微泵的研究[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
2	关艳霞;戴敬;方肇伦;;PDMS气动微泵的研究[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
3	耿照新;崔大付;王海宁;刘长春;陈兴;;压电驱动微阀与微泵集成结构的设计与分析[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
4	皋路;张建辉;胡笑奇;黄毅;;压电双晶片结构的仿尾鳍式无阀泵改进研究[A];第十届全国振动理论及应用学术会议论文集（2011）下册[C];2011年
5	周传玺;王晓雷;;微凸起阵列对PDMS摩擦特性的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
6	徐加山;郭涛;孙宏明;郭航;;一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
7	杜立群;杨季玲;徐征;王立鼎;;无阀微泵流体特性的数值计算和结构优化设计[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
8	胡笑奇;张建辉;黄毅;夏齐宵;黄卫清;;一种仿生型无阀压电泵的研究[A];第十届全国振动理论及应用学术会议论文集（2011）下册[C];2011年
9	王辉;游有鹏;刘媛;陈晓磊;;压电式气动比例阀的特性分析与实验研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库

前6条

1	倪君辉;面向微流控系统的PDMS平面微阀微泵研究及应用[D];东华大学;2011年
2	魏巍;多流体混合微流控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
3	华顺明;压电式粘滑精密运动机构驱动理论与实验研究[D];吉林大学;2005年
4	王海宁;基于MEMS技术的自吸微泵的研制[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2006年
5	杜新;应用于CD-like微流体芯片的毛细被动阀研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年
6	赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	程华旸;激光冲击波致动微泵的设计建模与研制[D];华中科技大学;2011年
2	赵立冬;压电双晶片水平布置式送料器的设计与实验研究[D];吉林大学;2007年
3	王涛;正压力变化式惯性压电驱动机构研究[D];吉林大学;2006年
4	赵全亮;PZT驱动的微泵研制及特性分析[D];黑龙江大学;2006年
5	苏江;惯性式压电振动送料器的设计与试验研究[D];吉林大学;2007年
6	曲绍鹏;压电振动给料器的结构优化设计[D];大连交通大学;2010年
7	金建;低压键合技术及其机理研究[D];合肥工业大学;2012年
8	张坤;垂直驱动压电振动给料装置及其驱动技术研究[D];大连交通大学;2010年
9	毕雨时;单振子双腔体V型管无阀压电泵的数值模拟与空化研究[D];江苏大学;2010年
10	王蓉;整体柱电渗泵—毛细管离子色谱联用技术研究[D];华东理工大学;2011年

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