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《第三届全国微全分析系统学术会议论文集》2005年
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一种无阀压电微泵的研究

王海宁  崔大付  耿兆新  刘长春  陈兴  
【摘要】:介绍了一种用于微流体系统的无阀微泵的制作工艺。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS) 作为弹性泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成泵体,利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,物理化学性质稳定,具有广阔的应用前景。

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