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《第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集》2004年
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一种玻璃微流控芯片的制作方法研究

李成武  王永宁  高云华  
【摘要】:研究了以ITO膜为掩膜的玻璃微芯片的制作方法和玻璃-玻璃键合技术,并详细讨论了腐蚀条件对掩膜的性能、玻璃的蚀刻速率和微通道表面形貌的影响.总结出了该制作方法与传统玻璃芯片的制作方法相比具有的特点和优势.开发出了一种成本低且简易的玻璃芯片制作方法.

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 殷学锋,沈宏,方肇伦;制造玻璃微流控芯片的简易加工技术[J];分析化学;2003年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘晓清;郝苇苇;高巍巍;周勇亮;;CO_2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片[J];传感技术学报;2006年05期
2 孙惠芹;刘志兰;李新;刘南平;李峰;;基于微流控芯片的单细胞图像观测系统的设计[J];传感技术学报;2008年12期
3 徐亮;应济;李俊;;一种低成本压电无阀微泵的研制[J];传感器与微系统;2011年03期
4 王灵秀;张仁元;陈观生;李石栋;;被动式旋流微混合器的实验研究[J];燕山大学学报;2008年03期
5 徐章润,王世立,樊晓峰,王福仁,方肇伦;小型可连续进样微流控芯片分析仪的研制[J];分析化学;2003年12期
6 李涛,唐宏武,周锦松,陈观铨;微流控进样阿达玛变换显微荧光成像单细胞分析[J];分析化学;2004年05期
7 叶美英,方群,殷学锋;聚二甲基硅氧烷基质微流控芯片通道的氧气氛改性研究[J];分析化学;2004年12期
8 徐溢,张晓凤,张剑;复合式微流控芯片上阴离子型固相萃取微柱柱性能分析[J];分析化学;2005年04期
9 章春笋,徐进良;连续流动式聚合酶链式反应芯片的设计进展[J];分析化学;2005年05期
10 刘科辉,梁宁,姚波,罗国安,王义明;微流控芯片-激光诱导荧光检测器的研制及核酸片段分离检测中应用[J];分析化学;2005年09期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 庄贵生;徐良基;刘菁;贾春平;李刚;金庆辉;赵建龙;;可逆电泳芯片制作及在临床尿蛋白检测上的应用[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
2 贾志舰;方群;方肇伦;;玻璃基质微流控芯片的室温键合技术[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
3 李成武;高云华;陈志锋;李清岭;;毛细管电泳芯片简化安培检测系统的研制[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
4 ;Research on Fluorescence Detection System of Ca~(2+)[A];Proceedings of 2010 International Conference on Bio-inspired Systems and Signal Processing(ICBSSP 2010)[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 徐春秀;微流控芯片动态胞吞和高通量单细胞分析的研究[D];浙江大学;2011年
2 周小棉;芯片电泳系统研制与应用研究[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
3 孙悦;微流控芯片上单细胞分析的研究[D];浙江大学;2006年
4 关艳霞;微流控分析系统中微流体驱动技术的研究[D];东北大学;2006年
5 徐章润;顺序注射—微流控分离、反应系统联用技术研究[D];东北大学;2005年
6 刘素芬;交叉导流式微型混沌混合器的研究[D];浙江大学;2005年
7 姚波;微流控芯片及有机发光二极管荧光检测系统的研究[D];清华大学;2006年
8 文伟力;聚合物微流控芯片的制作、检测及仿真研究[D];吉林大学;2007年
9 刘伟;化学发光微流动注射分析芯片的研究[D];西南大学;2007年
10 穆金霞;微流控芯片在两相有机合成中的应用研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 罗婷婷;基于微流控技术制备单分散性载药微球及体外释放研究[D];华东理工大学;2011年
2 田玉平;高聚物微流控芯片及固定化酶芯片的研究[D];吉林大学;2004年
3 朱迅;聚合物微流控芯片的激光加工技术研究[D];浙江大学;2004年
4 刘玲;玻璃微细加工工艺的研究与磁流体推进式微型泵样机的研制[D];浙江大学;2004年
5 徐良基;微流体电泳芯片紫外/可见吸收检测系统的构建及应用研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
6 杨承;毛细管电泳芯片的设计与加工技术研究[D];华中科技大学;2004年
7 张玲;一种基于玻璃-PDMS复合式微流控芯片气动微泵系统研究[D];浙江大学;2006年
8 裴翠锦;化学发光微流动注射芯片在食品安全中的应用研究[D];陕西师范大学;2006年
9 冯波;一种聚二甲基硅氧烷微流控芯片的制作方法研究及评价[D];重庆大学;2006年
10 张玉相;2-T型微通道内气泡生成和破碎特性可视化实验研究[D];山东大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 ;《大学化学》第五卷(1-6期)总目录[J];大学化学;1990年06期
2 方肇伦;微流控分析芯片发展与展望[J];大学化学;2001年02期
3 汤扬华,叶雄英,周兆英,金亚,冯焱颍;电泳芯片的制作及其进样与分离[J];分析化学;2001年05期
4 殷学锋,方群,凌云扬;微流控分析芯片的加工技术[J];现代科学仪器;2001年04期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李成武;王永宁;高云华;;一种玻璃微流控芯片的制作方法研究[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
2 庄贵生;徐良基;刘菁;贾春平;李刚;金庆辉;赵建龙;;可逆电泳芯片制作及在临床尿蛋白检测上的应用[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
3 贾志舰;方群;方肇伦;;玻璃基质微流控芯片的室温键合技术[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
4 潘远凤;胡福增;郑安呐;;键合型荧光聚合物的研究[A];2004年全国高分子材料科学与工程研讨会论文集[C];2004年
5 刘爱林;何凤云;周霆;陆钰;夏兴华;;微流控分析系统中被动式微混合器的设计与快速制作方法[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
6 ;理论化学、计算与模拟化学[A];中国化学会第二十四届学术年会论文摘要集[C];2004年
7 郑海菜;陈元;朱格;莫育俊;程祖良;;一种制作金衬底的新方[A];中国物理学会光散射专业委员会成立十周年暨第六届学术会议论文集(下册)[C];1991年
8 张衡益;韩建荣;陈圆圆;刘育;;具有荧光生色的苯并15-冠-5衍生物的合成及其与碱/碱土金属离子的键合行为[A];大环化学和超分子化学研究进展——中国化学会全国第十二届大环第四届超分子化学学术讨论会论文集[C];2004年
9 吴文士;刘世雄;林墀昌;;三个氮杂36-MC-12的合成和晶体结构[A];大环化学和超分子化学研究进展——中国化学会全国第十二届大环第四届超分子化学学术讨论会论文集[C];2004年
10 向绍基;杨得琐;柳忠全;吴隆民;;腙硝化产物的ab initio研究[A];第三届全国有机化学学术会议论文集(上册)[C];2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 张玉秀;芯片自由流电泳系统的建立及表征[D];东北大学;2008年
2 陈宋洁;苄基碳氢键的转化反应研究[D];清华大学;2010年
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