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《第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集》2004年
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PDMS复制的微流控芯片微结构尺寸的简易测量方法研究

戴敬  樊晓峰  方肇伦  
【摘要】:正 微流控芯片上通道与结构尺寸是微流控系统研究与加工中的一个基础数据,由于其微米级的尺度及要求非破坏性等特点,常用的触针式轮廓仪由于其触针尺寸的限制,对高深宽比的微结构测量失真明显.而其它的测量方法如扫描电镜显微测试技术及光干涉技术等均难以满足需要或难以在普通的化学实验室中实现.以CCD(Charge Coupled Device)为基础的图像测量技术具有系统结构简单、分辨率高、测量准确、使用方便等特点,广泛地应用于非接触的尺寸、位移、轮廓等测量系统中,但它一般用于平面的二维测量,难以直接用于微结构的三维尺寸测量.

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