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《第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集》2007年
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梳状谐振式磁场传感器设计

李成章  黄庆安  
【摘要】:给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计。采用静电激励和静电检测,通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出。对结构模型进行简化,推导出了本征频率的计算公式并进行了 ANSYS 模拟。通过尺寸的设计,该传感器的灵敏度可以达到258 kHz/T。

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