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《第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集》2007年
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石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系

田文杰  宁永怀  崔媛媛  鄂然  张福学  
【摘要】:根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器。采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较。实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数。

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