MEMS加速度计工程样机的研制
【摘要】：结合国内现有的工艺水平,研制了Z轴"三明治"式MEMS加速度计。在结构设计上采用基于平动机理的集中参数模型;综合考虑静电负刚度效应等因素,给出了该MEMS加速度计系统级设计方案;在整表的组装工艺上,采用了基于薄膜电路的MCM技术;并对整表的性能进行了全面的测试,整表的零偏稳定性优于0.3mg,量程±7g,分辨率0.05mg。在此基础上提出了进一步改进的方向。
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