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《微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集》2011年
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石英MEMS陀螺

林日乐  满欣  周倩  李文蕴  谢佳维  张巧云  
【摘要】:石英微机电系统(MEMS)陀螺是一种微型惯性器件。介绍了石英MEMS陀螺的工作原理及敏感芯片的几种典型结构形式,石英MEMS陀螺敏感芯片一般采用一体式音叉结构,有多种结构形式,不同的芯片结构形式性能指标和体积不同,可应用在不同领域。结合敏感芯片结构介绍了石英微机械工艺特点,最后介绍了石英MEMS陀螺的主要性能指标及其主要应用领域。
【作者单位】:中国电子科技集团公司第26研究所
【分类号】:TP211.4

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