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典型高性能MEMS陀螺的比较分析

郑旭东  冯舟  梁新建  万蔡辛  李丹东  
【摘要】:MEMS陀螺的精度与传统的机械式陀螺和光学陀螺相比仍比较低,但近年来屡有高性能MEMS陀螺的报道。本文从结构、工艺和封装、处理电路的角度对近年来报道的典型的高性能MEMS陀螺进行了仔细的综述,对几种典型的陀螺进行了对比并给出了结论。

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