硅微静电悬浮加速度计关键技术研究
【摘要】：硅微静电悬浮加速度计将静电悬浮技术与近年来迅速发展的MEMS(微机电系统)技术相结合,具有高分辨率、低成本,低功耗、微型化等特点,能实现单点多自由度空间非保守力检测。本文在分析国内外空间加速度计研究进展基础上,分别介绍了单轴及六自由度静电悬浮加速度计的工作原理,对硅微静电悬浮加速度计研制中的设计方法、加工工艺和检测技术等进行阐述,并分析探讨了一些关键技术及解决途径.
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