惯性技术的新发展

【摘要】：随着当今科学技术的进步,惯性技术的发展也日新月异,新型惯性器件不断出现。微机械陀螺(MEMS)和半球谐振陀螺(HRG)就是两种近几年才发展起来的具有很强技术特点的新型陀螺。微机械陀螺采用半导体微电子加工工艺制作。具有体积小、成本低、可靠性高、一致性好、抗环境适应能力强等技术特点,特别适应大批量工业化生产。在兵器、舰船等许多战术武器领域具有很强的应用价值,在民用汽车电子、工业机器人、医疗电子等领域也有很好的应用前景。经过几年来的高速发展,国内微机械陀螺技术取得了长足的进步。其中,中电集团26所研制的石英微机械陀螺已取得了较大的进展,目前已开始承接国家重点工程配套任务。半球谐振陀螺采用高品质因数的石英玻璃材料,通过精密的机械加工和一系列的后端工艺制作,再配上精密的检测控制电路系统,组成一套完整的角度/角速度检测装置。半球谐振陀螺具有精度高、可靠性强、稳定性好、抗冲击振动性能强等技术特点,特别是它独有的长寿命工作优点,非常适合于在空间等长时间工作环境下使用。国内半球谐振陀螺技术通过数年的攻关,已取得较好的阶段性技术成果。目前已研制出初步的产品样机,并已送航天部门开展原理性试验。目前的关键技术指标——随机漂移已达到了0.2°/h.