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《惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集》2004年
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石英/硅微机械惯性仪表的研究现状和发展动态

董景新  
【摘要】:本文通过介绍国外石英/硅微机械惯性仪表现有产品资料、国外近年文献中介绍的研究状况、以及国内研究现状,结合我们研制硅微机械惯性仪表的体会,归纳出石英/硅微机械惯性仪表的发展动态,包括单片多自由度微机械惯性仪表集成研究、温度特性及温度补偿技术研究、单片微结构与IC电路集成研究、高深宽比(HART)技术研究、低g高分辨率惯性仪表研究、能够自校准的微机电惯性仪表研究等。
【作者单位】:清华大学
【分类号】:TH703

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