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《中国惯性技术学会第五届学术年会论文集》2003年
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硅基叉指式电容加速度计标准化工艺制造

阮勇  张大成  
【摘要】:叉指式电容加速度计是一种实用化的MEMS惯性器件,其快速发展更是受到近几年来实际需求的牵动。在MEMS加速度和陀螺等惯性器件的研制过程中,其加工方法以硅基为例主要分为体硅(Bulk Silicon)和表面硅(Surface Silicon)两种主流加工形式,体硅工艺具有工艺简单、高灵敏度、低温度漂移、低功耗、可靠性高,可以进一步和标准IC电路集成的优点.
【作者单位】:北京大学微电子学系 北京大学微电子学系
【分类号】:TH824.4

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