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硅MEMS惯性传感器的研究和开发

杨拥军  徐爱东  郑锋  徐永青  何洪涛  卞玉民  吝海锋  吕树海  罗蓉  邹学锋  
【摘要】:介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况。主要有已定型的±50g MEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨率MEMS电容力平衡加速度传感器,已经得到初步应用的单、双轴MEMS热对流加速度传感器,研发中的MEMS振动陀螺仪和高g MEMS加速度传感器等.

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