硅MEMS惯性传感器的研究和开发
【摘要】：介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况。主要有已定型的±50g MEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨率MEMS电容力平衡加速度传感器,已经得到初步应用的单、双轴MEMS热对流加速度传感器,研发中的MEMS振动陀螺仪和高g MEMS加速度传感器等．
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李军俊,刘理天,杨景铭;新型硅微加速度传感器的设计与制作[J];清华大学学报(自然科学版);1999年S1期 |
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