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微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑

刘云峰  董景新  
【摘要】:本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度计敏感表头的设计思路及方法,提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容式微机械加速度计的性能潜力。

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