微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑

刘云峰董景新

【摘要】：本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度计敏感表头的设计思路及方法,提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容式微机械加速度计的性能潜力。

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前20条

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2	刘晓为;刘云涛;姜一鸣;尹亮;;四阶Sigma-Delta微加速度计系统设计与分析[J];哈尔滨工业大学学报;2011年07期
3	刘恒;张凤田;何晓平;苏伟;张富堂;;静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造[J];重庆大学学报;2011年08期
4	王晓楠;周飞;彭约钧;孙见君;;微坑型表面微结构对钛合金水润滑摩擦学特性的影响[J];中国科技论文在线;2011年08期
5	代刚;李枚;苏伟;邵贝贝;;微惯性测量单元的误差整机标定和补偿[J];光学精密工程;2011年07期
6	傅忠传;高洋;李东;张泽旭;崔平远;李馨梅;;Metric多核子方法划分编译算法设计与实现[J];哈尔滨工业大学学报;2011年07期
7	木子;;微型惯性装置研发溯源[J];海陆空天惯性世界;2011年10期
8	周平;郭东明;康仁科;金洙吉;;多级粗糙间隙内的两相微流动数值模拟[J];机械工程学报;2011年15期
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18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘云峰;董景新;;微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
2	李圣怡;刘宗林;吴学忠;;微加速度计的发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）[C];2004年
3	万蔡辛;李丹东;张承亮;冯强;郑旭东;;电容式微加速度计的整流误差与减震浅析[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
4	胡莉;李茜;;微加速度计[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
5	杨慧;郭航;;压电式微加速度计的研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
6	何晓平;张德;文贵印;;“叉指”结构微加速度计的系统设计[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
7	何晓平;;“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
8	邱波;姜利军;;MEMS传感技术在飞机系统测试中的应用研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
9	何晓平;;抗7400g冲击的静电伺服微加速度计[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年
10	黄书琴;郝永平;王世军;;电容微加速度计结构参数优化设计[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘恒;静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究[D];重庆大学;2011年
2	周吴;微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究[D];西南交通大学;2010年
3	杨灿;注塑微结构复制性能及形态研究[D];华南理工大学;2011年
4	戴强;基于SOI的电容式微加速度计器件物理模型与实验研究[D];电子科技大学;2010年
5	刘云涛;电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6	唐爱东;不同构型锂锰氧固溶体的合成机制与电化学性能研究[D];中南大学;2006年
7	胡宇群;微型飞行器中的若干动力学问题研究[D];南京航空航天大学;2002年
8	刘晓旻;高精度光杠杆式微加速度计的研究[D];浙江大学;2007年
9	刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
10	俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	朱铭哲;二阶全差分ΣΔ微加速度计接口电路的设计[D];哈尔滨工业大学;2010年
2	牛正一;单片集成三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
3	王兴华;单片三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
4	李文燕;复合量程微加速度计温度补偿的研究[D];中北大学;2012年
5	张运奎;多梁支撑圆盘电容式微加速度计测控系统的研究[D];上海交通大学;2012年
6	万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
7	秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年
8	何江波;支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究[D];西南交通大学;2011年
9	赵文静;基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化[D];电子科技大学;2010年
10	谭振新;HEMT嵌入式微加速度计的优化设计与测试[D];中北大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前3条

1	刘莉赵雪;“种”出美丽晶体[N];科技日报;2004年
2	;不断创新塑造“锐彩”世界[N];中国计算机报;2004年
3	本报记者金振蓉;973计划：为发展提供科学支撑[N];光明日报;2003年

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