收藏本站
《2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集》2003年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

硅微惯性器件研制的现况和一些问题的探讨

范正翥  陈平  
【摘要】:正 微电子机械系统(MEMS)技术作为一项军民两用的高新技术,是继信息产业、生物产业后的又一新兴产业,标志着制造技术的又一次飞跃。因此,它已引起世界各国的许多研究机构的重视,美、德、日等国都制订了国家级的发展计划来推动此项技术的发展,并投入大量的资金开展这一领域的研究工作,而硅微惯性器件是MEHS领域发展最快的产品之一。硅微惯性器件具有体积小、可靠性高、寿命长、抗冲击、易于集成、便于数字化、智能化以及成本低廉等特点,在航空、兵器、汽车等领域应用得非常广泛。随着微电子
【作者单位】:中航一集团第六一八研究所 中航一集团第六一八研究所
【分类号】:V241.5

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 夏启兵,胡昌华,周涛,叶雪梅;基于时频分析的某惯性器件测试与故障诊断[J];振动、测试与诊断;2003年01期
2 梁波;谭新洪;;MEMS惯性测量装置温度控制技术研究[J];航天控制;2010年03期
3 何永康,廖世宾,刘水红,唐照芳;惯性器件制造中零件系列孔径检测技术[J];航天工艺;2001年02期
4 周连贵;;提高加工工艺水平 加速惯性器件更新换代[J];飞航导弹;1987年07期
5 钱峰,原清;某飞行器惯性器件贮存可靠性评估和预测方法研究[J];中国惯性技术学报;1994年03期
6 张云飞;辛娟红;;做好标准化工作是保证产品质量的基础[J];航天标准化;2008年04期
7 E.Udd;余显昭;;麦道公司的光纤陀螺发展[J];导弹与航天运载技术;1992年01期
8 王广民;运载火箭制导系统惯性器件误差补偿方法研究[J];航天控制;1997年04期
9 薛治江,杨铁立,高维彦,任思聪;一种新型多功能惯性器件的研究[J];西北工业大学学报;1998年01期
10 曹小平;胡昌华;郑志强;吕瑛洁;;基于LMBP神经网络的惯性器件故障预报方法研究[J];电光与控制;2005年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 范正翥;陈平;;硅微惯性器件研制的现况和一些问题的探讨[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
2 张永清;;对增值税会计中的几个认识与实践问题的探讨[A];改革与探索——吉林省税务科研优秀论文集[C];2001年
3 宋援朝;刘彤;;关于整顿和规范运政队伍问题的探讨[A];全国中等城市道路运政管理工作第十二次研讨会论文集[C];2002年
4 顾雪中;李仁法;樊桢;;对现行中药标准一些问题的探讨[A];全国中药研究与开发学术研讨会论文摘要集[C];2001年
5 姚小松;;西部地区交通规划问题的探讨[A];中国公路学会公路规划分会2003年文集[C];2003年
6 刘燕君;周正武;吴建生;;地表的地质遥感信息向地下延伸问题的探讨[A];第十三届全国遥感技术学术交流会论文摘要集[C];2001年
7 宋晓红;;对医院医德医风建设问题的探讨[A];山东省医学伦理学学会第二次学术年会论文集[C];2001年
8 杨国明;;关于老年活动中心的建设、作用及其管理服务问题的探讨[A];人口老龄化与社会可持续发展——广西老年学学会第六次学术讨论会论文摘要集[C];2001年
9 何佳美;卢耀麟;;深圳地区空调设计问题的探讨[A];全国暖通空调制冷1998年学术年会论文集(2)[C];1998年
10 马志坚;;风浪中船舶操纵性问题的探讨[A];风浪情况下的船舶安全与对策论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 南京师范大学教科院 顾荣芳;幼儿健康教育问题的探讨[N];中国教育资讯报;2002年
2 时代;空间用新型惯性器件通过搭载验证[N];中国航天报;2007年
3 广州市铁将军防盗设备有限公司 谢梅林;对电子类安防产品适用性问题的探讨[N];中华建筑报;2003年
4 无锡电力电容器有限公司监事会主席 姜鲁宁;关于企业内部监督制衡问题的探讨[N];中国机电日报;2001年
5 刘亮 杜东升;商业银行信贷工作中担保问题的探讨[N];中国城乡金融报;2001年
6 李兴荣(作者系省地税局副局长);税收精细化管理问题的探讨[N];甘肃经济日报;2004年
7 ;真情沟通[N];中国社会报;2003年
8 刘和俊(作者单位系安庆开发区经济技术发展公司);省级经济技术开发区再发展问题的探讨[N];科技日报;2002年
9 曾五一 林飞;关于网络调查问题的探讨[N];中国信息报;2002年
10 王礼仁;盗窃金融机构刑罚适用问题的探讨[N];人民法院报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 冯广波;期权定价有关问题的探讨[D];中南大学;2002年
2 何昆鹏;MEMS惯性器件参数辨识及系统误差补偿技术[D];哈尔滨工程大学;2009年
3 刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
4 任春华;激光陀螺捷联惯导系统若干关键技术及应用研究[D];重庆大学;2008年
5 马晶波;红景天甙对黑素细胞生物学作用的研究及美白中草药筛选过程中一些问题的探讨[D];复旦大学;2003年
6 武元新;对偶四元数导航算法与非线性高斯滤波研究[D];国防科学技术大学;2005年
7 李东明;捷联式惯导系统初始对准方法研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
8 刘骏跃;声表面波惯性器件传感检测技术研究[D];西北工业大学;2007年
9 王省书;激光陀螺捷联姿态路谱测量系统研究[D];国防科学技术大学;2006年
10 杨金显;微惯性测量系统关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宋向华;自首若干问题的探讨[D];苏州大学;2003年
2 杜彩云;侦查假说几个问题的探讨[D];中国政法大学;2002年
3 杨旭东;对国有企业改革若干问题的探讨[D];大连理工大学;2000年
4 胡志成;关于中国铁路“网运分离”若干问题的探讨[D];厦门大学;2001年
5 吴朝阳;仪化投资项目论证阶段若干问题的探讨[D];大连理工大学;2001年
6 于敏;对政府采购有关法律问题的探讨[D];湖南师范大学;2002年
7 黄珺;关于建立我国风险投资体系有关问题的探讨[D];中国社会科学院研究生院;2001年
8 廖洋;关于我国保险市场营销几个问题的探讨[D];西南财经大学;2002年
9 阳敦荣;国有企业建立现代企业制度若干问题的探讨[D];华中师范大学;2002年
10 马士光;善意取得制度若干问题的探讨[D];苏州大学;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026