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《中国光学学会2011年学术大会摘要集》2011年
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基于氧化锌衬底的MgZnO日盲探测器

黄丰  郑清洪  
【摘要】:正本文利用反应磁控溅射方法在晶格匹配的ZnO衬底上外延生长出单一六方相的Mg0.49Zn0.51O薄膜,并制备了金属-半导体-金属结构的日盲型探测器。计算和实验结果均表明厚膜MgZnO可以抑制ZnO衬底信号,从而实现日盲信号的探测。采用2μm厚的MgZnO薄膜制
【作者单位】:中科院福建物质结构研究所
【分类号】:TN304.21

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