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《中国光学学会2011年学术大会摘要集》2011年
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InGaAs焦平面MTF测试系统研究

许中华  方家熊  
【摘要】:器件的MTF表征了光电成像器件对空间频率的对比度传递特性,可以全面的评价其成像性能。随着器件的发展,用MTF来评价器件越来越受到重视。本文针对短波红外InGaAs焦平面器件MTF的测试需求,搭建了一套用狭缝法测量器件MTF的系统。采用全反射式Offner光学结构将狭缝高质量的成像在待测器件上。成像光学结构由两块共轴的球面反射镜构成,1:1成像;芯片工作波长1.7μm下,在高达8*30mm的宽视场内,20lp/mm(对应尺寸25μm*25μm的芯片特征频率)处的实测MTF高于0.8,接近衍射限。使用CCD芯片对系统进行成像校准实验,20μm宽度的狭缝经系统所成的像宽度为32μm,接近理论值28μm,表明系统的成像性能满足器件MTF测试的需要。

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