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《中国光学学会2011年学术大会摘要集》2011年
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感应耦合等离子体刻蚀制备低损耗倒脊形聚合物光波导

孙小强  张琨  陈长鸣  李晓东  王菲  张大明  
【摘要】:利用高密度感应耦合等离子刻蚀方法制备了底面平整、侧壁陡直的聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯倒脊形光波导。系统研究了天线射频功率、偏置功率、气体流量和压强对波导形貌的影响,利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了刻蚀速率、表面粗糙度和侧壁陡直度与刻蚀参数之间的关系,并利用稀释的聚合物溶液减小了凹槽表面粗糙度,有效降低了由于侧壁粗糙导致的波导光散射损耗。

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