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利用计算全息片的锥面干涉检验

马骏  朱日宏  高志山  Christof Pruss  Matthias Hfner  袁操今  Wolfgang Osten  
【摘要】:高精度线性锥面在现代光学系统设计中得到越来越广泛的关注和应用。但是由于其面形的特殊性,传统手段难以实现检测目的,尤其对于锥角比较小的待测锥面。在传统的干涉检测系统上,使用计算全息片(CGH)及相关技术可以实现非球面甚至自由曲面的高精度检测。本文介绍一种在平面干涉系统利用高频CGH实现对锥面检测的方法。在分析过程中,利用锥面像差多项式作为工具,提取待测锥面的锥角误差,并结合错位绝对检验技术完成待测锥面的绝对检验。

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