基于离轴计算全息的抛物面面形检测

【摘要】：计算全息(CGH)干涉检验是目前检测非球面的主要方法之一,采用共轴计算全息时,衍射级次的重叠导致非球面中心区域无法检测,本文通过对CGH相位函数添加离轴载频,将各衍射级次在垂轴方向分离,从而避免了衍射级次轴向重叠引起的测试盲区,文中对一块口径为100mm的抛物面进行了检测,为了验证检测精度,同时进行了抛物面自准直测试,结果显示采用离轴CGH获取的检测数据不仅覆盖了抛物面全口径,而且与自准直法保持了良好的一致性。

【作者单位】：南京理工大学电子与光电技术学院
【分类号】：TP274;O438.1

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