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激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究

郭延龙  陆益敏  吴杰  黄国俊  王淑云  程勇  王会升  万强  
【摘要】:采用准分子激光沉积出高红外透过率、高硬度的纯DLC膜,但该膜的内应力较大,在锗等衬底上易脱落,限制了其工程应用。为解决此难题,将锗片粘在石墨靶材表面组成复合石墨靶材,在国际上首次采用准分子激光聚焦烧蚀真空中的复合靶材,在硅、锗衬底上沉积出掺锗类金刚石膜。发现纯类金刚石膜掺锗后,类金刚石膜在红外波段的吸收略有增加,透过率有所降低,内应力明显减小,膜层不易脱落。

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