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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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利用超短激光制作硅表面微结构的研究

王珏  涂成厚  吕福云  
【摘要】:本文研究了利用超短脉冲激光在SF6气体环境下制作硅表面微结构的实验条件和结果。首先我们利用纳秒激光进行了硅表面微结构的加工,通过改变实验参数得到现有条件下的最优化加工结果。随后进行了飞秒激光微加工的实验研究,通过调整参数,得出了最优化的微结构加工结果,柱状微结构高度和间隔均约5m。比较利用两种激光光源制作的微结构形貌可以发现,飞秒激光得到的尺度更小形态更优良,这与飞秒激光本身的特点是分不开的。随后我们利用XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)分析微结构表面元素分布,证实了杂质能级的引入,为进一步研究微结构对红外波段光吸收率增强机制奠定了理论基础。
【作者单位】:物理科学学院南开大学
【分类号】:TN249

【参考文献】
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