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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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增强蓝光响应的576×96 TDI可见光CCD研制

吕玉冰  刘冰  李作金  邵振  
【摘要】:采用多晶硅栅开孔工艺,实现了增强蓝光响应的576×96 TDI可见光CCD设计及制作。本文介绍了增强蓝光响应的TDI可见光CCD的结构设计和制作,并进行了量子效率测试,器件的量子效率在500nm处达到30%。
【作者单位】:重庆光电技术研究所 北京空间机电研究所
【分类号】:TN386.5

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