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基于多孔硅牺牲层的线列氧化钒非制冷红外探测器研究

王彬  赖建军  赵二景  陈四海  
【摘要】:非制冷红外探测器广泛应用于消防,汽车夜视,监控和军事等诸多领域.而氧化钒非制冷红外探测器具有高电阻温度系数、无需斩波的特点,是一类性能优异的热红外探测器。采用电化学腐蚀多孔硅方法和两种不同流程制备了128元线列氧化钒非制冷探测器,分析了多孔硅牺牲层的反应机理并对两种流程的效果进行了比较.采用黑金工艺制备了宽谱红外吸收层,器件的性能测试表明比探测率达到6×108cmHz1/2W-1。

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