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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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ZnS基底红外双波段保护膜研究

吴小丽  熊长新  李钱陶  何光宗  
【摘要】:采用磁控溅射技术,在ZnS基底上沉积了GeC/DLC构成的红外双波段(3.7~4.8um和7.7~10.3um)保护膜。利用红外光谱仪测试了样品的红外透射光谱,双面镀膜样品在3.7~4.8um和7.7~10.3um波段范围内的平均透过率均高于93%,且能够承受恶劣的环境试验,膜层附着性能好,光机性能稳定。样品在300℃以下抗热震性能稳定。
【作者单位】:华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室
【分类号】:O484.41

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