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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器

李艳龙  李铁  
【摘要】:提出了一种CMOS工艺兼容的、采用精心设计的特殊正面腐蚀窗口释放的微机械热电堆红外探测器。探测器尺寸为490μm×490μm,红外吸收区面积为240μm×240μm,由48对P/N多晶硅热电偶组成,释放后的器件特性响应率43V/W,探测率2.8×107cmHz1/2/W,时间常数9ms。绝热结构的释放时间只有90分钟,器件的成品率可达99.4%。
【作者单位】:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【分类号】:TN215

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