基于弛豫铁电单晶的热释电焦平面研究

【摘要】：随着非制冷焦平面技术的迅速发展,热释电焦平面的研究也引起了人们广泛关注。热释电探测器在紫外、可见、红外波段具有平坦的光谱响应,同时具有无需制冷、功耗低、结构紧凑、稳定可靠、成本低等优点,具有广阔的发展前景。PMN-PT是一种综合性能优异的新型热释电材料,本文以PMN-PT单晶作为热释电探测器材料,开展了8×1线列探测器的芯片结构设计及器件关键工艺研究,获得了8元热释电探测器芯片,电压响应率约280V/W。同时,实现了8元热释电光敏芯片与8元读出电路的耦合互连,得到了8元热释电焦平面原型器件,并进行了性能测试。本文的研究为基于新型弛豫铁电单晶的大规模非制冷焦平面的研制奠定了一定的基础。

【作者单位】：中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室中国科学院红外成像材料与器件重点实验室
【基金】：国家自然科学基金(60708028、60837003)资助项目
【分类号】：TN215

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【共引文献】
	【共引文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	张兴周,苏运东;热释电红外探测警戒系统[J];传感器技术;1997年05期
2	冯涛;李新;蔡睿洁;赵念;谷咸平;;热释电红外敏感器的温差响应特性[J];弹箭与制导学报;2010年05期
3	李格,袁宁一,李金华;热释电单元探测器的电压响应模拟[J];电子器件;2002年04期
4	段萍,高泽红,许矢林;单片微机红外报警系统的研制[J];光电子技术与信息;2005年03期
5	李金华,李坤,陈燕陈,王丽华,蔡忠龙;PT/P(VDF-TrFE)/多孔氧化硅衬底热释电传感器研制[J];功能材料与器件学报;1998年01期
6	倪争技,黄元申;红外分光油分析仪的设计与研究[J];光学仪器;2002年03期
7	邵式平;非制冷长波红外焦平面列阵现状[J];红外与激光工程;1997年04期
8	陈实;张海波;姜胜林;曾亦可;刘梅冬;;热释电非制冷红外焦平面现状及发展趋势[J];红外与激光工程;2006年04期
9	邵式平;非制冷热释电红外焦平面[J];红外与激光工程;1996年06期
10	蓝德均;朱建国;;(1-x)PST-xPZT铁电弛豫陶瓷的压电与热释电性能研究[J];攀枝花学院学报;2008年03期

中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	江勤;姜胜林;张海波;杨智兵;钟南海;;非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集（E 光电子器件技术专题）[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前9条

1	徐峥谊;微机械热电堆红外探测器[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
2	袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
3	袁小武;钛酸铅镧钙系铁电薄膜的制备及其性能研究[D];四川大学;2005年
4	张清涛;PMNT铁电薄/厚膜及其MEMS致冷器制备工艺的研究[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年
5	王宏臣;氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究[D];华中科技大学;2006年
6	胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年
7	李明利;低温烧结BST陶瓷的粉体制备及介电性能研究[D];天津大学;2009年
8	隋修宝;非制冷凝视热像仪成像理论以及关键技术研究[D];南京理工大学;2009年
9	刘子骥;非制冷红外焦平面探测器测试及验证成像技术研究[D];电子科技大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	翟于嘉;红外探测材料电阻温度特性的研究[D];西安工业大学;2011年
2	董大兴;Pb（Zr_（0.95）Ti_（0.05））O_3薄膜的PLD制备及热释电性能的研究[D];南京航空航天大学;2010年
3	胡蓓;基于FPGA的非制冷红外焦平面读出电路[D];华中科技大学;2010年
4	熊龙宇;BiCl_3改性PMNSZT/PVDF复合材料的制备及性能研究[D];华中科技大学;2009年
5	曾辉;PZT薄膜的制备和电性质研究[D];南京航空航天大学;2010年
6	曾敏;地面多传感器探测系统红外传感器的研究[D];南京理工大学;2004年
7	李元昕;新型PST铁电薄膜的制备及其性能研究[D];华中科技大学;2004年
8	刘萍;钛酸锶钡粉体颗粒的包覆工艺及其烧结性能的研究[D];天津大学;2006年
9	朱音音;锆钛酸铅（PZT）铁电陶瓷的电学性能研究[D];上海师范大学;2007年
10	姚镭;单片集成MEMS红外传感器中的低噪声CMOS接口电路研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2007年

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	陆荣铿;焦平面阵列革新热成象[J];红外与激光工程;1994年01期
2	王瑞忠,陈培毅,钱佩信;一种改进的便于实现的红外焦平面阵列不均匀性校正算法[J];半导体学报;1997年12期
3	吴诚，苏君红，潘顺臣，冯生荣，金伟其，高稚允;非制冷红外焦平面技术述评(下)[J];红外技术;1999年02期
4	孙志君;红外焦平面阵列技术的发展现状[J];半导体光电;2000年S1期
5	孙志君;红外焦平面阵列技术的发展现状与趋势[J];光机电信息;2002年03期
6	麦绿波;金伟其;;焦平面探测器基型化的优化方法[J];北京理工大学学报;2007年08期
7	陈西曲;刘卫华;;一种低成本模块化的非致冷红外焦平面性能测试平台[J];武汉工业学院学报;2009年01期
8	陈兴惠;;4×4掺铟硅CID阵列的研制[J];半导体光电;1991年02期
9	姜小波,刘发,何小琦;PtSi红外焦平面芯片可靠性物理分析[J];电子产品可靠性与环境试验;2000年01期
10	;非制冷红外焦平面热像仪[J];军民两用技术与产品;2002年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	邵秀梅;马学亮;于月华;方家熊;;基于弛豫铁电单晶的热释电焦平面研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2	许中华;方家熊;;InGaAs焦平面MTF测试系统研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3	杨彪;颜夕宏;;红外焦平面阵列读出电路设计[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
4	甄德根;吴志明;杨砚;蒋亚东;;基于数字滤波技术的红外焦平面非均匀校正算法[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
5	许中华;王敬;赵龙成;王培纲;方家熊;;用于短波红外焦平面MTF测量的全反光学系统研制[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
6	徐运华;张松;谢文青;亢勇;李雪;方家熊;;GaN紫外焦平面注入效率研究[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
7	孙志君;刘俊刚;欧代永;;红外焦平面阵列技术新军事装备应用[A];中国仪器仪表学会传感器学术研讨会论文集[C];2004年
8	袁永刚;刘大福;邱惠国;李向阳;;128×128元氮化镓紫外焦平面读出电路的设计与封装研究[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
9	孔卫国;陈思颖;姚剑敏;倪国强;;基于激光内调制的焦平面数据低温传输测试试验[A];第二届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会论文集[C];2008年
10	夏王;王小坤;林春;曹妩媚;孙闻;郝振怡;李言谨;丁瑞军;;12.5μm长线列碲镉汞焦平面杜瓦组件[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	张晓飞;基于DSP的红外焦平面阵列非均匀性校正技术研究[D];重庆大学;2002年
2	张智;红外焦平面阵列新结构高性能CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2003年
3	杨文;非制冷焦平面用热释电材料研究[D];电子科技大学;2002年
4	刘成康;红外焦平面阵列CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2001年
5	代少升;红外焦平面阵列实时非均匀性校正研究[D];重庆大学;2004年
6	贾功贤;基于VI的IRFPA ROIC参数测试及热释电FPA凝视成像技术研究[D];重庆大学;2001年
7	吴厚德;超高分辨率CCD成像系统关键技术研究[D];大连海事大学;2012年
8	袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
9	王本庆;近程毫米波成像技术及其信号处理[D];南京理工大学;2010年
10	傅志中;红外扫描成像动目标检测跟踪技术与DSP实时实现[D];电子科技大学;2002年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	周慧鑫;高帧频的焦平面信号实时处理技术研究[D];西安电子科技大学;2002年
2	于冬;非致冷红外焦平面读出电路噪声分析[D];电子科技大学;2004年
3	刘宇;氧化钒非制冷红外焦平面电路的分析与设计[D];电子科技大学;2004年
4	童默颖;红外焦平面阵列MTF测试系统和技术研究[D];南京理工大学;2003年
5	张少华;红外焦平面阵列像素倍增技术研究[D];南京理工大学;2003年
6	刘晔　;非制冷红外焦平面热成像测温系统的研究[D];南京理工大学;2003年
7	郭世勇;红外焦平面阵列整机性能评估技术[D];南京理工大学;2004年
8	凌小兵;非致冷红外焦平面的信号采集及预处理[D];南京理工大学;2004年
9	夏春华;被动毫米波成像技术研究[D];南京理工大学;2004年
10	闫文成;热释电红外焦平面阵列非均匀性校正研究[D];南京理工大学;2004年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡神州行卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62791813 010-62985026	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南