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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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基于弛豫铁电单晶的热释电焦平面研究

邵秀梅  马学亮  于月华  方家熊  
【摘要】:随着非制冷焦平面技术的迅速发展,热释电焦平面的研究也引起了人们广泛关注。热释电探测器在紫外、可见、红外波段具有平坦的光谱响应,同时具有无需制冷、功耗低、结构紧凑、稳定可靠、成本低等优点,具有广阔的发展前景。PMN-PT是一种综合性能优异的新型热释电材料,本文以PMN-PT单晶作为热释电探测器材料,开展了8×1线列探测器的芯片结构设计及器件关键工艺研究,获得了8元热释电探测器芯片,电压响应率约280V/W。同时,实现了8元热释电光敏芯片与8元读出电路的耦合互连,得到了8元热释电焦平面原型器件,并进行了性能测试。本文的研究为基于新型弛豫铁电单晶的大规模非制冷焦平面的研制奠定了一定的基础。

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