收藏本站
《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

铝镧共掺ZnO透明导电薄膜的微观结构和光电性能研究

战可涛  曾凡强  
【摘要】:利用溶胶-凝胶法制备了ZnO:(Al,La)透明导电薄膜,在还原气氛(N2:H296:4)下退火。通过X射线衍射、紫外—可见分光光度仪、扫描电镜和双电测四探针等仪器重点考察了ZnO:(Al,La)薄膜的退火温度和Al掺杂量对薄膜微观结构、表面形貌、光学性能和电学性能的影响。结果表明随退火温度的升高,薄膜的(002)晶面择优取向生长趋势增强,平均晶粒尺寸增大,电阻率降低,透光率上升;随着Al掺杂浓度的增加,晶粒尺寸减小,晶粒间间隙增多,电阻率先降低后升高。在Al的摩尔掺杂浓度为1%,退火温度550℃,薄膜最低电阻率为1.78×10-3·cm,可见光平均透光率大于85%。
【作者单位】:北京化工大学理学院
【分类号】:O484.1

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱锋,薛玉明,孙建,赵颖,耿新华;绒面ZnO透明导电薄膜[J];人工晶体学报;2004年03期
2 谭天亚;江雪;崔春阳;李春梅;徐广文;吴炜;郭永新;;ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展[J];辽宁大学学报(自然科学版);2007年04期
3 袁玉珍;王辉;刘汉法;张化福;刘云燕;;溅射功率对Zr,Al共掺杂ZnO薄膜结构和性能的影响[J];电子元件与材料;2010年02期
4 张富春;张志勇;张威虎;阎军峰;贠江妮;;AZO(ZnO:Al)电子结构与光学性质的第一性原理计算[J];光学学报;2009年04期
5 许小亮,施朝淑;纳米微晶结构ZnO及其紫外激光[J];物理学进展;2000年04期
6 周晓红,赵秀琴;氧化锌光催化降解六种可溶性染料的研究[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2003年02期
7 宋洋,阎研,邢英杰,俞大鹏,张树霖;ZnO纳米管的拉曼光谱学研究[J];光散射学报;2004年02期
8 徐彭寿,徐彭寿,孙玉明,施朝淑,徐法强,潘海斌,施朝淑;ZnO及其缺陷电子结构对光谱特性的影响[J];红外与毫米波学报;2002年S1期
9 蒋向东,张怀武,黄祥成;透明导电半导体ZnO膜的研究[J];应用光学;2002年02期
10 郭宝增;用全带Monte Carlo方法模拟纤锌矿相GaN和ZnO材料的电子输运特性[J];物理学报;2002年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 战可涛;曾凡强;;铝镧共掺ZnO透明导电薄膜的微观结构和光电性能研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 阳生红;张日理;汤健;王旭升;;溶胶-凝胶法制备Al-Y共掺杂ZnO薄膜及其性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
3 吕建国;王钰萍;黄继杰;;ZnO透明导电薄膜室温生长及其在太阳能电池中的应用[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 孙福来;谭红琳;;溶胶-凝胶法制备ZnO:Al导电薄膜的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
5 薛俊明;陈新亮;李林娜;段苓伟;黄宇;孙建;赵颖;耿新华;;用于薄膜太阳电池的绒面ZnO透明导电薄膜的研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
6 李俊强;梅增霞;刘尧平;梁会力;侯尧楠;杜小龙;;ZnO(0001)/蓝宝石模板上Cu(111)纳米岛的氧化过程研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
7 江浩;顾锋;李春忠;;水含量对溶剂热合成ZnO微结构的影响[A];中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集(上)[C];2008年
8 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化—ZnO薄膜技术[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
9 沈伟;彭德全;沈晓丹;;先进无机材料表面的金属化——ZnO薄膜技术[A];2001年全国电子电镀年会论文集[C];2001年
10 王齐;周大成;邱建备;;稀土掺杂ZnO材料的发光特性研究进展[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 肖化;帝人化学进军电子纸张市场[N];中国化工报;2010年
2 记者 徐德昭 实习生 张晓茵;东莞两企业中标“粤港”项目[N];东莞日报;2009年
3 本报记者 梁红兵;关注超高亮度LED产业化[N];中国电子报;2002年
4 本报记者 李宏乾;纳米涂料:大力发展 谨慎宣传[N];中国化工报;2002年
5 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
6 张军民高鹏飞;纳米氧化锌在断奶子猪饲料中的应用[N];中国畜牧兽医报;2008年
7 记者 赵伟 通讯员 郑原驰;2008年度全省科技进步奖揭晓[N];长春日报;2008年
8 郑原驰 记者 李林岩;省科学技术进步奖揭晓[N];吉林日报;2008年
9 韩文;韩国使用高效光催化活性剂制造抗菌陶瓷[N];中国包装报;2009年
10 吴勇 瞿金霞 吴高毅;正泰太阳能二代薄膜实现量产[N];温州日报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王晓晶;柔性基ZnO:Al透明导电薄膜材料的制备与性能研究[D];华中科技大学;2011年
2 汤琨;ZnO中的杂质行为与p型掺杂[D];南京大学;2011年
3 张晓;ZnO基宽禁带稀磁半导体材料的制备及性能研究[D];南开大学;2010年
4 刘洋;过渡元素掺杂ZnO稀磁半导体的制备及性质研究[D];江苏大学;2011年
5 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
6 陈韬;ZnO薄膜的制备及其晶体管性能研究[D];复旦大学;2010年
7 胡懿;氧氩比和氢离子注入对ZnO薄膜微结构及光学性能的影响[D];武汉大学;2010年
8 李永峰;ZnO薄膜及其光电子器件中的晶格失配与应力问题研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
9 杨通;P型ZnO薄膜的制备及其结构、光学和电学性质的研究[D];吉林大学;2011年
10 周阳;透明ZnO薄膜与铁电薄膜的集成研究[D];河北大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋志昂;磁控溅射制备ZnO透明导电薄膜的研究[D];兰州大学;2010年
2 周科;Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与光电性能研究[D];重庆大学;2010年
3 欧阳紫靛;ZnO:Al透明导电薄膜的磁控溅射制备及其特性研究[D];中南大学;2010年
4 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
5 何维凤;磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织与性能研究[D];江苏大学;2005年
6 王钰萍;ZnO基透明导电薄膜的低温制备及性能优化[D];浙江大学;2011年
7 曾凡强;溶胶—凝胶法制备ZnO:(Al,La)透明导电薄膜的微观结构和光电性能的研究[D];北京化工大学;2008年
8 尉静;ZnO薄膜和纳米晶须的制备及性能研究[D];山东师范大学;2010年
9 范晓玲;磁控溅射法制备ZnO薄膜及光电导探测器的研制[D];山东理工大学;2010年
10 锁雅芹;Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及光学性质研究[D];兰州大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026