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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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端面镀膜的光纤湿度传感器的实验研究

李小兵  杨明红  廖招龙  
【摘要】:本文提出了一种基于多孔硅薄膜的光纤法布里-泊罗湿度传感器。多孔硅薄膜在一定相对湿度的环境下由于毛细冷凝作用,孔隙中的液态水的体积趋于动态平衡。液态水的平衡体积随着相对湿度的增加而增加,使得多孔硅薄膜有效折射率随着改变,从而导致反射光谱的漂移。本文通过对实验结果的拟合,推算出不同相对湿度环境下,多孔硅薄膜的有效折射率值。同时从感湿机理出发来讨论不同相对湿度下的折射率变化,结果得出一致的结论。
【作者单位】:武汉理工大学光纤传感技术研究中心
【基金】:自然科学基金的支持,基金号60908020
【分类号】:TP212

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【共引文献】
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