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《中国光学学会2010年光学大会论文集》2010年
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聚硅氧烷脊形波导热学性能分析

温昌礼  冯向华  季家镕  宋艳生  窦文华  
【摘要】:对在芯片间光互连方面具有重要应用背景的聚合物光波导,有必要对其热学性能进行分析,从而使其与传统的电路板制备工艺更加兼容,并利用其热学分析结果指导集成电路工艺的改进,使得大规模光电集成技术更加成熟。本文作者成功制备了直线长度达21厘米的聚硅氧烷脊形波导,并实现通光。为了考察该波导与传统电路集成工艺的兼容性,采用有限元方法,建立了该波导的热学分析模型,进行了网格划分,并设定了分析的边界条件,利用有限元分析方法,对其热学性能进行了研究,考察了该脊形波导横截面随时间变化的热场分布,得出了焊接过程中的瞬时高温不会对芯层造成影响,以及焊点400℃高温持续时间不能超过0.035秒等结论,对大规模集成光路技术具有一定的参考价值。
【作者单位】:国防科学技术大学光电科学与工程学院
【基金】:国家863计划(2007AA01Z2a5)资助项目
【分类号】:TN252

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
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5 刘敬伟,陈少武,余金中;一种分析三维楔脊形光波导与光纤耦合的方法[J];物理学报;2005年01期
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李宝军,刘恩科;Ge_xSi_(1-x)/Si脊形光波导的最佳结构[J];半导体光电;1997年01期
2 李娜,高勇,李国正,刘恩科;GeSi调制器与探测器单片光电集成[J];半导体光电;1997年03期
3 赵策洲,李国正,刘恩科,刘西钉,高勇;SOI定向耦合器研制[J];半导体学报;1995年12期
4 韦文生,张春熹,周克足,王天民;硅基光电集成材料及器件的研究进展[J];材料导报;2003年05期
5 赵策洲,刘恩科,李国正,高勇,刘西钉;SOI结构M-z型调制器的有限元法分析[J];电子与信息学报;1997年01期
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9 赵策洲,李国正,刘恩科,刘西钉,高勇;SOI波长信号分离器的研制[J];光学学报;1995年11期
10 高勇,李国正,刘恩科,刘西钉;锗硅合金脊形光波导的优化分析与设计[J];光学学报;1995年12期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 多新中;硅中H~+,He~+离子注入引起的物理效应与SOI高加速度传感器的研制[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
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2 王伟;集成化可变光学衰减器的研究[D];长春理工大学;2002年
3 邝井国;光波导应力双折射研究[D];浙江大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 邓晓清,杨沁清,王红杰,胡雄伟,王启明;硅基二氧化硅波导的应力和偏振相关性的数值分析[J];半导体学报;2002年11期
2 黄重庆,张国平,刘靖;条形波导光场分布的时域有限差分法模拟[J];光电子.激光;2002年01期
3 潘姬,赵鸿麟,杨恩泽;全硅大断面脊形光波导传播特性的理论分析及实验结果[J];固体电子学研究与进展;1994年01期
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵策洲,刘恩科,郑玉祥,杨风丽,李道全,刘志敏;全硅矩形截面脊形波导的研制及其损耗分析[J];光学学报;1994年10期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 刘建斌;周希朗;易辉跃;;广义脊形波导传输特性的2-D频域有限差分法分析[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
3 伍忠杰;李艳霞;安娜荣;王建颖;董丽松;杨宇明;;增塑的聚乳酸的热和结晶性质[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
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9 王若溪;张献;刘晨;陈林;胡坤;郑康;包超;田兴友;严庆;;聚酯PET/MWCNTs纳米复合材料的制备与热学性能[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2009年
10 郭宝华;孙元碧;徐军;徐永祥;;生物可降解聚丁二酸丁二酯共聚物的合成和表征[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 刘向东;沪东重机7S60MC-CMarkⅧ型机通过鉴定[N];中国船舶报;2005年
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 侯秀良;山羊绒纤维结构与热学性能研究[D];东华大学;2002年
2 常鹰;球形纳米氧化锆粉末及其涂层材料的研究[D];中南大学;2006年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 毛庆丰;1.05μm高速宽带激光器研究[D];电子科技大学;2001年
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6 姜启刚;芳砜纶织物的性能研究[D];东华大学;2007年
7 刘伟;聚丁二酸乙二醇酯的合成及其生物降解性能研究[D];中国科学院研究生院(理化技术研究所);2008年
8 赵伟东;碳纳米管的改性及其复合材料性能的研究[D];吉林大学;2009年
9 刘富华;含羧基侧基聚芳醚酮的合成及其作为大分子固化剂改性环氧树脂的研究[D];大连理工大学;2009年
10 孙庆尧;基于铌酸锂的高效偏振无关性波长转换器研究[D];华中科技大学;2008年
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