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全息-离子束微细加工闪耀光栅研究

刘全  吴建宏  裘云飞  方玲玲  陈刚  
【摘要】:衍射光栅是一种分光元件,也是光谱仪器的核心元件。其中闪耀光栅能通过控制刻槽的形状,将衍射的中央主极大转移到不同的干涉主极大上,从而使能量集中到有用的某一级上去。闪耀使得光栅的衍射效率得到大大的提高,这使得它广泛应用于各种光谱仪器中。传统的闪耀光栅制作方法是机械刻划法,制作出光栅也称为刻划光栅。由于制作工艺上的缺点,刻划光栅的刻槽是先后刻划产生的, 存在周期性和随机性位移误差,导致“鬼线”(伪谱线)产生;同时由于刻刀刀刃微观豁口的存在,其杂散光较强。

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