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氧化铪光栅离子束刻蚀方法研究

刘颖  王旭迪  徐向东  洪义麟  付绍军  
【摘要】:建立在啁啾脉冲放大和压缩技术上的超短脉冲激光研究是强激光领域的前沿问题,这个方向的研究工作对于解决人类面临的能源问题有重要意义。全电介质材料制成的光栅是这一系统中的不可或缺的关键光学元件。氧化铪(HfO2)薄膜材料,从紫外波段到红外波段具有较宽的透明区域,具有高折射系数、高介电常数、较高的抗激光损伤阈值,是目前常用的脉宽压缩光栅顶层材料。

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18 张开军;张仲渊;;离子束刻蚀高频石英谐振器[J];宇航计测技术;1982年05期
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