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用于表面微轮廓测量的共焦技术

王昭  李纪念  朱升成  
【摘要】:三维表面微轮廓一直是工程领域很重要的测量信息,随着小型化趋势以及微机械、微动力、纳米技术的出现,共焦技术由于其具有高精度、非接触的测量能力而被引入三维轮廓测量系统。特别是在半导体制造业以及芯片加工中得到广泛的应用。本文主要针对工业用激光共焦扫描显微镜,给出了共焦显微技术的测量原理、性能以及其测量系统,实际建立了一针对表面微轮廓测量的反射式共焦实验系统。针对不同的实验系统参数进行了实验并给出了实验结果,为进一步的仪器化奠定了基础。

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